晶圓清洗機的主要部件通常包括IPC+HMI、機械臂、伺服電機、步進電機、以及各種傳感器、電磁閥等模組，結合宏虹的IPC、EtherCAT接口卡和IO模組，可以輕鬆實現“一網到底”的系統設計。

晶圓清洗是晶片生產過程中最繁瑣的工序，其作用主要是去除晶圓表面包括細微顆粒、有機殘留物和氧化層等在內的沾污。在晶片生產過程中，晶圓表面的沾污會嚴重影響到最終的晶片品質和成品率。

晶圓清洗工藝主要歸納為兩大類——濕法和乾法，不過目前90%的清洗步驟中都是使用濕法。濕法清洗技術主要是採用特定化學藥液和去離子水，輔以超聲波、加熱等物理方法，對晶圓表面進行無損傷清洗。隨著目前尺寸的縮小、結構的複雜化，半導體晶片對雜質的含量愈加敏感，也對清洗技術不斷提出新的要求。

傳統使用IO直連式或者工業通訊技術的控制系統在新的要求面前開始顯現諸多弊端，比如網路節點數限制、通訊速率低、實時性能有限等等，這些弊端嚴重限制了相關技術的發展。而正蓬勃發展的EtherCAT實時乙太網通訊技術為這個問題提供了完美的解決方案，百兆甚至是千兆的通訊速率，微秒級別的控制週期，1486字節的通訊數據量，以及近乎支持所有的拓撲結構，這些都為晶圓清洗設備的設計、研發帶來了新的機遇。

基於宏虹EtherCAT接口卡和IO模組建構的晶圓清洗機

晶圓清洗機的主要部件通常包括IPC+HMI、機械手臂、伺服電機、步進電機、以及各種傳感器、電磁閥等模組，結合宏虹的IPC、EtherCAT接口卡和IO模組，可以輕鬆實現如下“一網到底”的系統設計。

IPC通過PCI/PCIe插槽擴展EtherCAT接口，然後通過EtherCAT直接連接到各類電機驅動器、機械臂和IO模組上，即可實現所有的數據採集和運動控制功能。 IPC端則提供了EtherCAT接口卡的驅動程序，工程師可以通過C/C++/C#等程式語言輕鬆地將EtherCAT通訊整合到系統中。

宏虹HK-CIFX系列多協議接口卡

宏虹HK-CIFX系列多協議接口卡，是一款支持多種通訊協議的通訊板卡，採用廣泛通用的驅動程式，用戶可以輕鬆方便地整合。支持多種IPC插槽（PCI、PCIe、miniPCIe等）。協議堆棧在板卡上自主執行，與主機的處理數據交換通過雙埠隨機存取記憶體（DPRAM）或直接記憶體存取（DMA）完成。借助統一的平台策略，所有板卡使用相同驅動程式和配置工具，與協議和板卡接口類型無關。同時對於實現所有的實時乙太網協議（EtherCAT、PROFINET、Ethernet/IP等），只需使用一個硬體即可。通過加載不同的韌體，板卡可以更改通訊協議。

宏虹HK-MKX系列EtherCAT IO模組

宏虹HK-MKX系列是一款扁平化整合式EtherCAT工業乙太網匯流排接口，堅固的金屬外殼提供出色的電磁屏蔽與散熱功能，確保在苛刻環境下也能可靠使用，且防護等級為IP30。

一體式的整合設計可獨立或分佈使用，扁平化設計則可適應空間敏感場景，接線方式合理便捷，且有著豐富的信號類型選擇。

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