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半導體晶圓清洗機——從IPC、EtherCAT接口卡到IO模組，接由宏虹一手包辦！

晶圓清洗機的主要部件通常包括IPC+HMI、機械臂、伺服電機、步進電機、以及各種傳感器、電磁閥等模組，結合宏虹的IPC、EtherCAT接口卡和IO模組，可以輕鬆實現“一網到底”的系統設計。 晶圓清洗...

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