大型基板ALE/2 UV LED曝光系統 – 高效穩定的工業解決方案
功能概述：
宏虹ALE/2 UV LED曝光系統具備內建解決方案，提供高達80W的紫外寬頻輸出，能夠替代傳統高功率汞燈。其創新的光學設計和分散式架構允許快速整合到工業設備中，同時內建閉環控制確保光輸出穩定性。此系統不僅具備節能環保優勢，還能在無需外部冷卻的情況下提供穩定的性能，適用於多種工業應用場景。
產品優勢與特色
◂ 內置解決方案可實現最大曝光效率和性能
◂ 高達70W的i-line曝光（CWL 365 nm）
◂ 高達80W的寬頻曝光（350-450 nm）
◂ 閉環控制光輸出
◂ LED工藝穩定性和TCO優勢
◂ 無需外部冷卻
◂ 無汞！節能環保的LED光源
代替超高功率汞燈的LED光源
ALE/2曝光光源提供350-450nm範圍內的窄帶與寬頻紫外輻射輸出。窄帶輸出功率高達70W，寬頻輸出功率高達80W，可完全替代高功率放電汞燈。
分散式設計整合
◂ 控制子系統 (CSS)： 4U 19英寸機架安裝系統，內含電源、冷卻系統與外部介面。
◂ 曝光子系統 (ESS)： 創新光學設計，整合至曝光設備，包含i、h、g線發射器與LED驅動器。
基本參數與規格
◂ 發射波長： 4 LEDs with CWL 365 nm, 385 nm, 405 nm, 436 nm
◂ 數值孔徑： NA 0.3 (2α ~35°)
◂ 輸出控制： 單個LED電源管理與預設、高解析度強度調整（10-100%）、LED上升時間小於1毫秒、光學輸出與回饋控制
◂ 通訊介面： 離散PLC介面（TTL）、USB（串列）、乙太網/Modbus（可選）
◂ 熱管理： 液體冷卻與可選熱電冷卻器
尺寸與重量
◂ ESS尺寸： 21 × 21 × 36 cm (8.3 × 8.3 × 14.2")
◂ CSS尺寸： 44 × 18 × 37 cm (17.3 × 7.1 × 14.6")
◂ 重量： ESS: 4 kg (9 lbs)；CSS: 10 kg (22 lbs)
電源供應
◂110 – 240 VAC / 50 – 60 Hz / 1,500 W
光學性能
◂ 中心波長： 365 nm, 385 nm, 405 nm, 435 nm（±2.5 nm）
◂ FWHM： 10-15 nm
◂ 單波長功率： 17-30 W
◂ 光照面積： 4"-12"，可定制
◂ 功率密度： 25-150 mW/cm²
◂ 光照均勻性： ≥97%
工作距離： 100-400 mm
