射頻電源在半導體製造過程中扮演著關鍵角色，無論是等離子體的產生、刻蝕工藝，還是薄膜沉積技術，都依賴其確保製程的精確性與高效性。在這些應用中，EtherCAT 憑藉高效的通訊性能與適應性，已成為半導體行...