UV-LED 高性能光學元件

功能概述:

Primelite UV-LED 高性能光學元件專為高精度紫外線照射設計,適用於半導體製造、汽車固化與醫療工程。具備高達 100,000 mW/cm² 的輻射能量,確保高速固化與精密曝光。標準模組包含均質器、聚光鏡與聚焦光學,支援250-470 nm 光譜範圍,並提供客製化解決方案。相容於ALE/1C UV-LED 曝光系統,確保高效能與靈活整合,滿足各種光刻與固化應用需求。

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Primelite UV-LED 高性能光學元件——獲得出色曝光效果的關鍵

強大的光源與精密匹配的光學器件,使其在高要求的紫外線照射應用中展現卓越性能。由於應用範圍廣泛,不同場景的需求各異,例如,汽車製造與醫療工程中的高速固化,與半導體晶圓廠的精密紫外線曝光,在光學特性與控制要求上有所不同。

宏虹的創新解決方案不僅提供高效能與優異的光學品質,同時兼顧成本效益,確保滿足您對准直性與均勻性的精確要求。我們的標準光學產品組合涵蓋多種曝光場景,而客製化 UV-LED 光學解決方案則是我們核心業務的一部分,能夠針對您的特定需求提供最優化的設計與技術支持。

用於大型基板的 Primelite LED 高性能光學器件

UV-LED 高性能光學器件亮點:

標準性能光學器件
• 易於獲得的均質器和冷凝器的模組化系統
• 針對高功率寬頻輻射(350 - 450 nm)進行了優化
• 效率高達 90%
• 超過 100,000 mW/cm2 帶聚焦附件
• LED 光導的標準連接器
• 與 ALE/1C UV-LED 曝光系統相容
• 德國製造的優質品質

定制設計能力
• 光刻級均勻性
• 准直低至 ±1°(FWHM)
• 高達 Ø400 mm 的曝光區域
• 內部組裝

系統參數與規格

均質器與光學組件規格
均質器
十字平面圓 Ø6.5 mm / 平方 7.5 x 7.5 mm / 六角形 Ø8.0 mm
長度58 mm
允許的光譜範圍250 – 470 nm
聚光鏡
類型ASP
通光孔徑Ø25 mmØ34 mm
數值孔徑0.22 (2α ~25°)0.15 (2α ~17°)
最小工作距離75 mm
允許的光譜範圍250 – 470 nm330 – 470 nm
聚焦光學
類型ASP
通光孔徑Ø34 mm
數值孔徑0.6 (2α ~70°)
最小工作距離15 mm
允許的光譜範圍330 – 470 nm

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