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強大的光源與精密匹配的光學器件,使其在高要求的紫外線照射應用中展現卓越性能。由於應用範圍廣泛,不同場景的需求各異,例如,汽車製造與醫療工程中的高速固化,與半導體晶圓廠的精密紫外線曝光,在光學特性與控制要求上有所不同。
宏虹的創新解決方案不僅提供高效能與優異的光學品質,同時兼顧成本效益,確保滿足您對准直性與均勻性的精確要求。我們的標準光學產品組合涵蓋多種曝光場景,而客製化 UV-LED 光學解決方案則是我們核心業務的一部分,能夠針對您的特定需求提供最優化的設計與技術支持。
用於大型基板的 Primelite LED 高性能光學器件
標準性能光學器件
• 易於獲得的均質器和冷凝器的模組化系統
• 針對高功率寬頻輻射(350 - 450 nm)進行了優化
• 效率高達 90%
• 超過 100,000 mW/cm2 帶聚焦附件
• LED 光導的標準連接器
• 與 ALE/1C UV-LED 曝光系統相容
• 德國製造的優質品質
定制設計能力
• 光刻級均勻性
• 准直低至 ±1°(FWHM)
• 高達 Ø400 mm 的曝光區域
• 內部組裝
均質器 | |
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十字平面 | 圓 Ø6.5 mm / 平方 7.5 x 7.5 mm / 六角形 Ø8.0 mm |
長度 | 58 mm |
允許的光譜範圍 | 250 – 470 nm |
聚光鏡 | ||
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類型 | ASP | |
通光孔徑 | Ø25 mm | Ø34 mm |
數值孔徑 | 0.22 (2α ~25°) | 0.15 (2α ~17°) |
最小工作距離 | 75 mm | |
允許的光譜範圍 | 250 – 470 nm | 330 – 470 nm |
聚焦光學 | |
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類型 | ASP |
通光孔徑 | Ø34 mm |
數值孔徑 | 0.6 (2α ~70°) |
最小工作距離 | 15 mm |
允許的光譜範圍 | 330 – 470 nm |
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