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ALE/2 UV-LED 曝光系統是一款 高性能 UV 點光源,適用於 大面積基板光刻與泛光曝光。提供 i-line(365 nm)與寬頻(365/405/436 nm) 模式,光輸出穩定,媲美 5,000 W 高壓汞燈。內建 獨立 LED 管理與閉環光輸出控制,確保功率穩定,適用於 8 吋與 12 吋掩模對準器。支援 PLC、USB、Ethernet / MODBUS TCP/IP 通訊,採用 液體冷卻技術 確保長時間運行。模組化設計讓 LED 可快速更換,降低維護成本,提升光刻應用效率。
ALE/2 曝光光源遵循分散式設計方法,通常由一個控制子系統(CSS) 和一個單獨的曝光子系統(ESS) 組成,ESS可直接連接到曝光系統中
可用作4U 19 吋機架安裝統
包括電源、冷卻系統和外部接口
創新的光學設計可直接整合到曝光設備中
包含i、h和g線發射器,以及LED驅動器
Primelite 的 UV-LED 曝光系統高級光引擎二(ALE/2)是一種高性能 UV 點光源、適用於需要完美均勻和准直輻射的大型基板工業泛光曝光工具、可以是 8 英寸(200 mm)或 12 英寸(300 mm)掩模對準器。其 UV 輸出足夠強大、可以為方形曝光區域高達 400 X 400 mm 的更大設置提供動力 —— 在某些情況下、甚至更大。ALE/2 採用 UV-LED 技術、具有出色的輸出穩定性和靈活的光譜控制、優於傳統的高壓汞放電燈。它還消耗更少的電力、不會產生太多的熱量、持續時間更長、並且需要最少的整體維護。
ALE/2 UV-LED 曝光系統充分利用 Primelite 的技術平臺、讓您在光路中組合四個回饋控制的高功率 UV LED。提供 i-line(CWL 365 nm)和寬頻(CWL 365 / 405 / 436 nm)配置。在單一 i-line 工藝中、ALE/2 UV-LED 曝光系統的性能可與額定功率高達 5,000 W 的傳統放電燈相媲美。對於寬頻用例、其照明功率可與 2,000 W 放電燈媲美。
Primelite 光刻 UV-LED 曝光系统 ALE/2(控制器和曝光子系统)
• 最大曝光效率和性能的內置解決方案
• 高達 70 瓦的 i-line 曝光(CWL 365 nm)
• 高達 80 瓦的寬頻曝光(350 – 450 nm)
• 閉環控制的光輸出可實現最大的過程穩定性
• 不含汞!安全且面向未來的 LED 光源
• UV-LED 技術可延長使用壽命並降低 TCO
• 德國製造的優質品質
下表中為宏虹曝光光源系統的規格參數,部分參數由客製化需求而定。
光源類型 | LED | |
---|---|---|
中心波長 | 標準波長 | 365nm、385nm、405nm、435nm |
測試波長 | 367.5±2.5 nm, 387.5±2.5 nm, 402.5±2.5 nm, 435.0±2.5 nm | |
FWHM | 10-15nm (實際數據視新機出廠測試而定) | |
光功率 | 單波長 17-30W | |
光照面積 | 4"-12" (可依具體需求客製) | |
功率密度 | 25-150mW/cm² (視波長和面積而定) | |
光照均勻性 | ≥97% | |
平行半角範圍 | ≤3° | |
工作距離 | 100-400mm (可依具體需求客製) | |
冷卻方式 | 液體冷卻、熱電冷卻 | |
工作壽命 | 標準範圍 | 曝光時間 1000-30000 小時 |
參考值 | 5000 曝光小時 - 50mW/cm² - 50% duty |
我們的標準 ALE/2 設置將 LED 模組與汞光譜的 i-line(365 nm)、h-line(405 nm) 和 g-line (436 nm) 周圍的峰值波長相結合。還提供純 i-line 列配置。所有 UV-LED 發射器均可單獨控制、因此您無需更換濾光片即可切換波長並自訂輸出光譜的組成。
功率類型 | 輻射功率 (mW)¹ | |
---|---|---|
寬帶 (350 - 450 nm) | i-line (365 nm) | |
ALE/2 (標準性能) | 80,000 | 70,000 |
ALE/2 (標準模式) | 70,000 | 60,000 |
¹ 偏差可能為 ±10%
- 我們的 ALE/2 在標準模式下提供高達 70 W 的總輸出,在性能模式下提供 80 W。
- 要激活性能模式,您需要在冷卻回路中添加一個冷卻器,以將冷卻液溫度保持在 20°C 以下。
屬性 | 規格 |
---|---|
發射波長選擇 | 4 LEDs with CWL 365 nm, 385 nm, 405 nm, and 436 nm |
數值孔徑 | 標準聚光器下:NA 0.3 (2α ~35°) |
輸出控制 | + 單一 LED 電源管理與預設 + 高解析度強度調整(10-100%) + LED 上升時間小於 1 毫秒 + 連續監控光纖輸出與回饋控制 |
通訊介面 | + 離散 PLC 介面(TTL) + USB(串列) + 乙太網路/Modbus(選購) |
熱管理 | + 內部散熱器的液體冷卻 + 選用熱電冷卻器(性能模式運作所需) |
尺寸 (W x H x D) | ESS: 21 × 21 × 36 cm (8.3 × 8.3 × 14.2″) CSS (Rack): 44 × 18 × 37 cm (17.3 × 7.1 × 14.6″) |
重量 | ESS: 4 kg (9 lbs) CSS (Rack): 10 kg (22 lbs) |
電源供應 | 110 - 240 VAC / 50 - 60 Hz / 1,500 W |
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