ALE/2 UV-LED 曝光系統

功能概述:

ALE/2 UV-LED 曝光系統是一款 高性能 UV 點光源,適用於 大面積基板光刻與泛光曝光。提供 i-line(365 nm)與寬頻(365/405/436 nm) 模式,光輸出穩定,媲美 5,000 W 高壓汞燈。內建 獨立 LED 管理與閉環光輸出控制,確保功率穩定,適用於 8 吋與 12 吋掩模對準器。支援 PLC、USB、Ethernet / MODBUS TCP/IP 通訊,採用 液體冷卻技術 確保長時間運行。模組化設計讓 LED 可快速更換,降低維護成本,提升光刻應用效率。

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分布式設計整合

ALE/2 曝光光源遵循分散式設計方法,通常由一個控制子系統(CSS) 和一個單獨的曝光子系統(ESS) 組成,ESS可直接連接到曝光系統中

ALE/2 曝光光源

控制子系統(CSS)

可用作4U 19 吋機架安裝統
包括電源、冷卻系統和外部接口

曝光子系統(ESS)

創新的光學設計可直接整合到曝光設備中
包含i、h和g線發射器,以及LED驅動器

ALE/2 UV-LED 曝光系統取代傳統的 2 – 5 kW 燈箱

Primelite 的 UV-LED 曝光系統高級光引擎二(ALE/2)是一種高性能 UV 點光源、適用於需要完美均勻和准直輻射的大型基板工業泛光曝光工具、可以是 8 英寸(200 mm)或 12 英寸(300 mm)掩模對準器。其 UV 輸出足夠強大、可以為方形曝光區域高達 400 X 400 mm 的更大設置提供動力 —— 在某些情況下、甚至更大。ALE/2 採用 UV-LED 技術、具有出色的輸出穩定性和靈活的光譜控制、優於傳統的高壓汞放電燈。它還消耗更少的電力、不會產生太多的熱量、持續時間更長、並且需要最少的整體維護。

ALE/2 UV-LED 曝光系統充分利用 Primelite 的技術平臺、讓您在光路中組合四個回饋控制的高功率 UV LED。提供 i-line(CWL 365 nm)和寬頻(CWL 365 / 405 / 436 nm)配置。在單一 i-line 工藝中、ALE/2 UV-LED 曝光系統的性能可與額定功率高達 5,000 W 的傳統放電燈相媲美。對於寬頻用例、其照明功率可與 2,000 W 放電燈媲美。

 

Primelite 光刻 UV-LED 曝光系统 ALE/2(控制器和曝光子系统)

Primelite 光刻 UV-LED 曝光系统 ALE/2(控制器和曝光子系统)

ALE/2 UV-LED 曝光系統亮點:

• 最大曝光效率和性能的內置解決方案

• 高達 70 瓦的 i-line 曝光(CWL 365 nm)

• 高達 80 瓦的寬頻曝光(350 – 450 nm)

• 閉環控制的光輸出可實現最大的過程穩定性

• 不含汞!安全且面向未來的 LED 光源

• UV-LED 技術可延長使用壽命並降低 TCO

• 德國製造的優質品質

曝光光源系統

下表中為宏虹曝光光源系統的規格參數,部分參數由客製化需求而定。

LED 光源產品規格表
光源類型LED
中心波長標準波長365nm、385nm、405nm、435nm
測試波長367.5±2.5 nm, 387.5±2.5 nm, 402.5±2.5 nm, 435.0±2.5 nm
FWHM10-15nm (實際數據視新機出廠測試而定)
光功率單波長 17-30W
光照面積4"-12" (可依具體需求客製)
功率密度25-150mW/cm² (視波長和面積而定)
光照均勻性≥97%
平行半角範圍≤3°
工作距離100-400mm (可依具體需求客製)
冷卻方式液體冷卻、熱電冷卻
工作壽命標準範圍曝光時間 1000-30000 小時
參考值5000 曝光小時 - 50mW/cm² - 50% duty

ALE/2 UV-LED 曝光系统输出

我們的標準 ALE/2 設置將 LED 模組與汞光譜的 i-line(365 nm)、h-line(405 nm) 和 g-line (436 nm) 周圍的峰值波長相結合。還提供純 i-line 列配置。所有 UV-LED 發射器均可單獨控制、因此您無需更換濾光片即可切換波長並自訂輸出光譜的組成。

光譜

角分布(来聚光镜)

ALE/2 功率規格表
功率類型輻射功率 (mW)¹
寬帶 (350 - 450 nm)i-line (365 nm)
ALE/2 (標準性能)80,00070,000
ALE/2 (標準模式)70,00060,000

¹ 偏差可能為 ±10%

- 我們的 ALE/2 在標準模式下提供高達 70 W 的總輸出,在性能模式下提供 80 W。
- 要激活性能模式,您需要在冷卻回路中添加一個冷卻器,以將冷卻液溫度保持在 20°C 以下。

系統參數與規格

發射波長選擇與規格表
屬性規格
發射波長選擇4 LEDs with CWL 365 nm, 385 nm, 405 nm, and 436 nm
數值孔徑標準聚光器下:NA 0.3 (2α ~35°)
輸出控制 + 單一 LED 電源管理與預設
+ 高解析度強度調整(10-100%)
+ LED 上升時間小於 1 毫秒
+ 連續監控光纖輸出與回饋控制
通訊介面 + 離散 PLC 介面(TTL)
+ USB(串列)
+ 乙太網路/Modbus(選購)
熱管理 + 內部散熱器的液體冷卻
+ 選用熱電冷卻器(性能模式運作所需)
尺寸 (W x H x D) ESS: 21 × 21 × 36 cm (8.3 × 8.3 × 14.2″)
CSS (Rack): 44 × 18 × 37 cm (17.3 × 7.1 × 14.6″)
重量 ESS: 4 kg (9 lbs)
CSS (Rack): 10 kg (22 lbs)
電源供應110 - 240 VAC / 50 - 60 Hz / 1,500 W

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