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UV-LED 光引擎 ALE/1C
功能概述：
宏虹 ALE/1C UV-LED曝光系統採用先進的無汞設計，內置高效能紫外輻射輸出，可取代傳統高功率汞燈，並支援350-450nm寬頻輸出範圍。系統採用分散式設計，具備靈活性和穩定性，提供多種光學元件選擇，適合遠距離輻射傳輸及高功率需求的工業應用。強大的冷卻系統和LED閉環控制保證長時間運行的穩定性，適合多種工業場景。
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ALE/1C UV-LED 曝光系統在遮罩版系統中的整合
ALE/1C 光源遵循分散式設計方法，通常由一個控制子系統(CSS) 和一個或多個獨立的曝光子系統(ESS) 組成，結構非常緊湊，適合於工業整合。
控制子系統(CSS)
作為獨立單元和4U 19”機架式系統，
包括電源、冷卻系統和外部接口
曝光子系統(ESS)
緊湊型設計可直接整合到曝光設備中，
包括用於i線、h線和g線的發射器以及LED驅動器
ALE/1C UV-LED 曝光系統取代傳統的 1 kW 燈箱
Primelite 的 UV-LED 曝光系統 Advanced Light Engine ONE C（ALE/1C）是一種強大的聚光光源、可驅動許多高性能工業 UV 曝光工具。通常、這些是用於 6 英寸（150 mm）和 8 英寸（200 mm）晶圓或寬頻晶圓步進系統（1X 步進器/迷你步進器）的半自動和自動掩模對準器。它採用 UV-LED 技術、具有出色的輸出穩定性和靈活的光譜控制、優於傳統的高壓汞放電燈。它還消耗更少的電力、不會產生太多的熱量、持續時間更長、並且需要最少的整體維護。
在 Primelite、我們奉行將產品構建為多功能平臺的原則。ALE/1C UV-LED 曝光系統也不例外——它們可以讓您在光路中組合多達三個 UV LED。在大多數情況下、這些是 i-line（CWL 365 nm)、h-line（CWL 405 nm）和 g-line（CWL 436 nm）發射器、其照明功率超過傳統的 1 kW 汞放電燈。
Primelite 光刻 UV-LED 曝光系统 ALE/2（控制器和曝光子系统）
ALE/1C UV-LED 曝光系統亮點：
• 最大曝光效率和性能的內置解決方案
• 高達50 瓦的寬頻曝光（350 - 450 nm）
• 閉環控制的光輸出可實現最大的過程穩定性
• 不含汞！安全且面向未來的 LED 光源
• UV-LED 技術可延長使用壽命並降低 TCO
• 德國製造的優質品質
曝光光源系統
下表中為宏虹曝光光源系統的規格參數，部分參數由客製化需求而定。
| 類別 | 參數 | 備註 |
|---|---|---|
| 光源類型 | LED | 1064/532/355/266 nm |
| 中心波長 | 365nm, 385nm, 405nm, 435nm | 367.5±2.5 nm, 387.5±2.5 nm, 402.5±2.5 nm, 435.0±2.5 nm 實際數據依據機型/測試而定 |
| FWHM | 10-15nm | 實際數據依據機型/測試而定 |
| 光功率 | 單波長 17-30W | 可根據具體需求定制 |
| 光照面積 | 4"x12" | 可根據具體需求定制 |
| 功率密度 | 25-150mW/cm² | 視應用和面積而定 |
| 光照均勻性 | ≥97% | |
| 平行光範圍 | <3° | |
| Z 升降範圍 | 100-400mm | 可根據具體需求定制 |
| 冷卻方式 | 液體冷卻，熱風冷卻 | |
| 工作/儲存 | 曝光時間: 1000-30000小時 | 視具體使用情況而定。參考值：5000小時 50mW/cm² 50% duty |
ALE/1C UV-LED 曝光系統輸出
我們的標準 ALE/1C 設置將 UV-LED 發射器與汞光譜的 i-line（365 nm)、h-line（405 nm）和 g-line（436 nm）附近的峰值波長相結合。所有 UV-LED 發射器均可單獨控制、因此您無需更換濾光片即可切換波長並自訂輸出光譜的組成。
光譜
角分布（来自光管）
功率
| 輻射功率 (mW)¹ | 光學 | 寬帶 (350 - 450 nm) | i-line (365 nm) |
|---|---|---|---|
| ALE/1C (高性能模式) | Ø8.0 mm HEX AR | 50,000 | 21,000 |
| ALE/1C (標準模式) | Ø8.0 mm HEX AR | 40,000 | 17,000 |
¹ 偏差可能為 ±10%
我們的 ALE/1C 在標準模式下提供高達 40 W 的總輸出，在高性能模式下提供 50 W。
要啟動高性能模式，您需要在冷卻回路中安裝額外的冷卻器，以將冷卻液溫度保持在 20°C 以下。
系統參數與規格
| 產品規格 | |
|---|---|
| 輸出源 | 高達 3 LEDs組合，365 ~ 970 NM範圍輸出 |
| 總傳輸輸出* | 高達 40 W（搭配額外冷却可實現 50 W） |
| 光強度 | 高達 100,000 mW/cm² |
| 數值孔徑 | 可變，取決於聚光元件 |
| 控制配置 | 獨立的 LED 電源管理和預設 精細度調整範圍（20-100%） LED上升時間約1 ms 透過內部或外部信號生產線監測輸出反饋控制 |
| 交互界面 | USB: ALE/遠程（ALE PC 軟件） PLC: 商務接口 現場總線：根據客戶需求（例如 CANopen） |
| 散熱控制 | 內部風冷（內建） 外部冷卻（可選），用於提高輸出 |
| 尺寸 (W H D) | ESS: 20 cm X 13 cm X 20.5 cm (7.9" X 5.1" X 8.1") CSS: 20 cm X 15 cm X 45 cm (7.9" X 5.9" X 17.7") CSS (Rack): 44 cm X 18 cm X 37 cm (17.3" X 7.1" X 14.6") |
| 重量 | ESS: 5 kg (11 lbs) CSS: 9 kg (20 lbs) CSS (Rack): 10 kg (22 lbs) |
| 電源輸入 | 110-240 VAC / 50-60 Hz / 1,000 W |
| 光導元件 | 八角形和圓形光導（26.5 mm 和 28.0 mm） 定制根據需求的聚焦光學器件 |
| 全光譜準度 | 在光譜未標準偏離的全光譜（Ø8.0 mm，六角增強選擇）；精度±10% |
