UV-LED High Performance Optical Components
Function Overview:
Primelite UV-LED 高性能光學元件專為高精度紫外線照射設計，適用於半導體製造、汽車固化與醫療工程。具備Up to 100,000 mW/cm² 的輻射能量，確保高速固化與精密曝光。標準模組包含均質器、聚光鏡與聚焦光學Support250-470 nm 光譜範圍，並提供客製化解決方案。相容於ALE/1C UV-LED 曝光系統，確保高效能與靈活整合，滿足各種光刻與固化應用需求。
Description
Primelite UV-LED 高性能光學元件——獲得出色曝光效果的關鍵
強大的光源與精密匹配的光學器件，使其在高要求的紫外線照射應用中展現卓越性能。由於應用範圍廣泛，不同場景的需求各異，例如，汽車製造與醫療工程中的高速固化，與半導體晶圓廠的精密紫外線曝光，在光學特性與控制要求上有所不同。
宏虹的創新解決方案不僅提供高效能與優異的光學品質，同時兼顧成本效益，確保滿足您對准直性與均勻性的精確要求。我們的標準光學產品組合涵蓋多種曝光場景，而客製化 UV-LED 光學解決方案則是我們核心業務的一部分，能夠針對您的特定需求提供最優化的設計與技術支持。
用於大型基板的 Primelite LED 高性能光學器件
UV-LED 高性能光學器件亮點：
標準性能光學器件
• 易於獲得的均質器和冷凝器的模組化系統
• 針對高功率寬頻輻射（350 - 450 nm）進行了優化
• 效率高達 90%
• 超過 100,000 mW/cm2 帶聚焦附件
• LED 光導的標準連接器
• 與 ALE/1C UV-LED 曝光系統相容
- Quality made in Germany
定制設計能力
• 光刻級均勻性
• 准直低至 ±1°（FWHM）
• 高達 Ø400 mm 的曝光區域
• 內部組裝
System Parameters and Specifications
| 均質器 | |
|---|---|
| 十字平面 | 圓 Ø6.5 mm / 平方 7.5 x 7.5 mm / 六角形 Ø8.0 mm |
| Length | 58 mm |
| 允許的光譜範圍 | 250 – 470 nm |
| 聚光鏡 | ||
|---|---|---|
| Type | ASP | |
| 通光孔徑 | Ø25 mm | Ø34 mm |
| Numerical Aperture | 0.22 (2α ~25°) | 0.15 (2α ~17°) |
| 最小工作距離 | 75 mm | |
| 允許的光譜範圍 | 250 – 470 nm | 330 – 470 nm |
| 聚焦光學 | |
|---|---|
| Type | ASP |
| 通光孔徑 | Ø34 mm |
| Numerical Aperture | 0.6 (2α ~70°) |
| 最小工作距離 | 15 mm |
| 允許的光譜範圍 | 330 – 470 nm |
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